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产品名称：XYZ直线电机滑台
产品提要：
-- 直线轴XYZ纳米级定位精度； ； ；；；；；
-- 细密交织滚柱导轨。。。。。。。。
-- 主体铝合金材质
产品精度：
-- XY轴重复精度±100nm
-- Z轴重复精度±200nm
产品名称：XYθ平台
产品提要：
-- 直线轴XY+旋转轴θ电机平台； ； ；；；；；
-- 小行程细密运动场合； ； ；；；；；
产品精度：
-- XY轴重复精度±0.5μm
-- θ旋转轴精度±2.5arcsec
产品名称：耦合平台
产品提要：
-- 直线轴XYZ+旋转轴ABC共6轴电机平台； ； ；；；；；
-- 适用光纤耦合； ； ；；；；；
产品精度：
-- XYZ轴重复精度0.3μm
-- ABC旋转轴重复精度±1.5arc sec
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